Vakuumska peč, to je v določenem prostoru komore peči, se vakuumski sistem (skrbno sestavljen z vakuumsko črpalko, napravo za merjenje vakuuma, vakuumskim ventilom in drugimi komponentami) uporablja za izpust dela snovi v komori peči, tako da tlak v komori peči je manjši od standardnega atmosferskega tlaka, prostor v komori peči pa se uporablja za doseganje vakuumskega stanja, ki je vakuumska peč.