Vakuumska peč, to je v določenem prostoru komore peči, se vakuumski sistem (skrbno sestavljen z vakuumsko črpalko, napravo za merjenje vakuuma, vakuumskim ventilom in drugimi komponentami) uporablja za izpust dela snovi v komori peči, tako da tlak v komori peči je manjši od standardnega atmosferskega tlaka, prostor v komori peči pa se uporablja za doseganje vakuumskega stanja, ki je vakuumska peč.
Vakuumska peč je naprava, ki se segreva v vakuumskem okolju. Komora peči je napeljana do sistema visokovakuumske črpalke v peči, zaprti s pokrovom iz kovine ali kremenčevega stekla. Stopnja vakuuma v peči lahko doseže 133×(10-2~10-4)Pa. Ogrevalni sistem v peči se lahko segreva neposredno z električnim segrevanjem uporovne žice peči (kot je volframova žica) ali pa se segreva z visokofrekvenčno indukcijo. Najvišja temperatura lahko doseže približno 3000 stopinj. Uporablja se predvsem za žganje keramike, vakuumsko taljenje, razplinjevanje in žarjenje električnih vakuumskih delov, trdo spajkanje kovinskih delov in keramično-kovinsko tesnjenje.
