1200C triobmočni sistem PECVD
1200C triobmočni sistem PECVD

1200C triobmočni sistem PECVD

SK2-CVD-12TPB4 je cevna peč za sistem PECVD, sestavljena iz 300 W ali 500 W RF napajalnika, večkanalnega sistema natančnega pretoka, vakuumskega sistema in cevne peči. Običajno uporabljena temperatura je 1100 stopinj Celzija ali manj, njene glavne značilnosti pa so nizka temperatura nanašanja, hitra hitrost, dobra kakovost filma, manj luknjic in manjša nagnjenost k pokanju. Idealna naprava za gojenje nanožic ali pripravo različnih tankih filmov z metodo CVD.
Pošlji povpraševanje
Funkcija

 

● Najvišja temperatura RT-1200 stopinj

● Razdeljena vrsta peči, lahko odprete peč.

● Lahko vnese več kot 2 kanala plina s stopnjo vakuuma 10 Pa z mehansko črpalko in 500 W RF napajalnikom za izboljšanje signala.

● Visokokakovostni izolacijski materiali iz aluminijevih keramičnih vlaken

● Natančnost nadzora temperature ±1 stopinja

● S funkcijo alarma nad temperaturo

● Hladilni ventilator lahko zniža temperaturo ohišja

 

Model

SK2-CVD-12TPB4

Mere: Standardna dolžina ogrevalne cone (mm)

440 mm

Mere: standardni premer cevi (mm)

∮60 mm

Najvišja temperatura

1200 stopinj, neprekinjena delovna temperatura 1100 stopinj.

Napetost (V)

220 1P

Vrsta termoelementa

K

Grelni element

Odporna žica iz zlitine HRE

Temp.Natančnost

±1 stopinja

Stopnja ogrevanja

0-30 stopinj/min brezplačne prilagoditve

Material komore

Uporaba naprednega visokokakovostnega mikrokristalnega materiala iz aluminijevega oksida

Struktura peči

Dvoslojna zračno hlajena struktura, površinska temperatura je nižja od 60 stopinj

Regulator temperature

Inteligentni PID instrument za regulacijo temperature, 30 programskih segmentov, regulacija SSR, funkcija samonastavljanja parametrov PID; program dvig temperature, program ohranjanje toplote, program hlajenje

500 W RF napajalnik

Izhodna moč: 5-500W ±1 stopinja

RF frekvenca: 13,56MHz ±0.005%

Odsevna moč: do 100 W

Ujemanje: Samodejno

RF vmesnik: 50Ω, N-tip

Hlajenje: zračno hlajenje

Napajanje: AC 208-240V, 50/60 HZ

Sistem natančnega pretoka s 4 plinskimi kanali

1. Celotna stopnja pretoka (5, 10, 30, 50, 100, 200, 300, 500) ML/min. 10L/min.

2. Vrsta ventila: Solenold ventil.

3. Mirujoči položaj ventila: običajno zaprt.

4. Diferenčni tlak: (50-300)kpa

5. Tlačna odpornost: 3mpa.

6. Delovna temperatura: 5-45 stopinj

7. Materiali: nerjaveče jeklo 316L.

Vakuumski sistem

5*10-3Pa

Hitra povezava KF25, meh iz nerjavečega jekla, ročni loputni ventil in prirobnica, vakuumska črpalka

Opcijsko je mogoče opremiti tudi sisteme z višjim vakuumom.

image001

DOBRODOŠLI OEM/ODM

 

Standardni dodatki

 

Termo rokavice|Kavelj za lonček|Termočlen|Blok cevi|Uporabniški priročnik|Orodja|Vakuumska črpalka| Kvarčna cev|Prirobnica|Tesnilni obroč|10 mm plinska cev|Nosilec prirobnice, Plinski sistem, RF moč.

 

Neobvezno

 

Različna ogrevalna cona po vaši izbiri;

Nadzor LCD zaslona na dotik za izbiro

Vrata RS485/USB za povezavo računalnika po izbiri.

 

Podrobna slika za CVD-PECVD

 

image003
500 W RF napajalnik
image005
Vakuumski sistem
image007
Sistem natančnega pretoka s 4 plinskimi kanali

 

Aplikacija

 

Ta naprava se uporablja predvsem za gojenje nanožic ali pripravo različnih tankih filmov za rast z metodo CVD.

 

Garancija

 

Enoletna garancija in doživljenjska tehnična podpora

Posebni nasveti:

1. Potrošni material, kot je grelni element, kvarčna cev, lonček za vzorce itd., ni v garancijskem roku.

2. Garancija ne krije škode, ki jo povzroči uporaba jedkega in kislega plina.

 

Priljubljena oznake: 1200c sistem pecvd s tremi ogrevalnimi conami, Kitajska 1200c sistem pecvd s tremi ogrevalnimi conami proizvajalci, dobavitelji